Puissance du micro-ondes
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Alimentation micro-ondes
L'alimentation à découpage micro-ondes est un nouveau type d'alimentation micro-ondes basée sur la technologie d'onduleur haute fréquence IGBT. Il intègre une alimentation haute tension anodique, une alimentation filament et une alimentation champ magnétique (sauf alimentation micro-ondes 3 kW). Le magnétron à ondes offre des conditions de travail. Ce produit est utilisé dans le MPCVD, la gravure au plasma micro-ondes, le dégommage au plasma micro-ondes et d'autres domaines.