Alimentation de pulvérisation moyenne fréquence série MSB

Brève description:

L'alimentation RF de la série RHH s'appuie sur une technologie de génération RF mature pour fournir aux clients une alimentation RF avec une plus grande puissance, une plus grande précision et une réponse rapide.Avec la phase peut être réglée, contrôlable par impulsion, réglage numérique et autres fonctions.Domaines applicables : industrie photovoltaïque, industrie des écrans plats, industrie des semi-conducteurs, industrie chimique, laboratoire, recherche scientifique, fabrication, etc.

Processus applicables : dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD), gravure au plasma, nettoyage au plasma, source d'ions radiofréquence, diffusion au plasma, pulvérisation par polymérisation au plasma, pulvérisation réactive, etc.

Détail du produit

Mots clés du produit

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Caractéristiques

● Styles de montage en demi-brique et en rack

● Adoptez un contrôle numérique complet, avec un menu de fonctionnement pratique et riche

● Fonctions de réglage de fréquence, d'impulsion et de synchronisation d'impulsion

● Avec fonction de synchronisation de phase CEX

● Fonction de protection parfaite

Détail du produit

Saisir	Tension d'entrée : AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (les spécifications spéciales peuvent être personnalisées)
Saisir	Fréquence d'entrée : 47 ~ 63 Hz
Sortir	Fréquence de sortie : 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Plage de réglage : ±5 %
	Puissance de sortie : 1,5 ~ 5 kW
	Plage de régulation de la puissance de sortie : 1 ~ 100 %
	Impédance de sortie : 50Ω+j0
	Interface de sortie : type N
	Mode de sortie : continu, impulsion
	Fréquence d'impulsion : 100 Hz ~ 100 kHz
	Cycle de service : 5 ~ 95 %
Index des performances	Facteur de puissance : 0,98
	Précision de stabilité de fréquence : ±0,005 %
	Efficacité : 75 % (à puissance nominale)
	Harmonique : ＜-45dBc
	Parasite : ＜-50dBc
	Interface de contrôle externe : quantité analogique, communication et synchronisation
	Mode de communication : interface de communication standard RS485 ;Ether CAT en option, Ethernet industriel, etc.
Remarque : le produit continue d'innover et les performances continuent de s'améliorer.Cette description de paramètre est pour référence seulement.