Alimentation de pulvérisation moyenne fréquence série MSB

Brève description:

La série MSB s'appuie sur son excellente technologie de modulation de forme d'onde pour produire des impulsions CC, CC, une onde carrée bidirectionnelle, une onde trapézoïdale bidirectionnelle et d'autres formes d'onde.Le produit a une forme d'onde de sortie réglable, une fréquence de sortie sélectionnable, un cycle de service réglable et un contrôle précis de la puissance.Ainsi qu'un faible stockage d'énergie et une réponse rapide de l'arc.Fournit un contrôle pratique et précis pour le processus de revêtement.Les produits sont principalement utilisés dans divers processus de fabrication de couches minces, dans l'industrie des cellules solaires et dans l'industrie du revêtement sous vide ;procédés d'application : procédé de pulvérisation magnétron, pulvérisation à double cible et PECVD tubulaire.

Détail du produit

Mots clés du produit

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Caractéristiques

Installation de racks
Réponse rapide de l'arc, temps de réponse <100ns
Stockage à faible énergie, <0,5 mJ/KW
Technologie PFC entrelacée multiphasée, le facteur de puissance atteint 0,95
Différents modes de sortie, modes continus et intermittents peuvent être sélectionnés
Le circuit onduleur adopte une technologie de commutation douce complète et utilise le SiC semi-conducteur de troisième génération comme dispositif d'alimentation, avec une excellente efficacité
Détection précise de l'arc, plusieurs méthodes de surveillance disponibles