Alimentation RF série RHH

Brève description :

L'alimentation RF de la série RHH s'appuie sur une technologie de génération RF éprouvée pour offrir aux clients une puissance accrue, une précision accrue et une réactivité accrue. Elle est dotée de fonctions telles que le réglage de la phase, le contrôle des impulsions, le réglage numérique et d'autres fonctions. Domaines d'application : industrie photovoltaïque, industrie des écrans plats, industrie des semi-conducteurs, industrie chimique, laboratoires, recherche scientifique, fabrication, etc.
Processus applicables : dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD), gravure au plasma, nettoyage au plasma, source d'ions radiofréquence, diffusion au plasma, pulvérisation cathodique par polymérisation au plasma, pulvérisation réactive, etc.

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Caractéristiques

● Styles de montage en demi-brique et en rack
● Adoptez un contrôle entièrement numérique, avec un menu de fonctionnement pratique et riche
● Fonctions de réglage de fréquence, d'impulsion et de synchronisation d'impulsion
● Avec fonction de synchronisation de phase CEX
● Fonction de protection parfaite

Détails du produit

Saisir	Tension d'entrée : AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (des spécifications spéciales peuvent être personnalisées)
Saisir	Fréquence d'entrée : 47~63 Hz
Sortir	Fréquence de sortie : 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Plage de réglage : ±5 %
	Puissance de sortie : 1,5 à 5 kW
	Plage de régulation de la puissance de sortie : 1 à 100 %
	Impédance de sortie : 50Ω+j0
	Interface de sortie : type N
	Mode de sortie : continu, impulsion
	Fréquence d'impulsion : 100 Hz ~ 100 kHz
	Cycle de service : 5 à 95 %
Indice de performance	Facteur de puissance : 0,98
	Précision de la stabilité de fréquence : ± 0,005 %
	Rendement : 75 % (à puissance nominale)
	Harmonique : ＜-45 dBc
	Parasite : ＜-50 dBc
	Interface de contrôle externe : grandeur analogique, communication et synchronisation
	Mode de communication : interface de communication RS485 standard ; Ether CAT en option, Ethernet industriel, etc.
Remarque : le produit continue d'innover et ses performances s'améliorent. Cette description des paramètres est donnée à titre indicatif uniquement.